X熒光光譜儀（XRF），由激發源（X射線管）和探測系統構成。XRF 的工作原理是：X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。X熒光光譜儀以其絕對優勢，目前占據了市場份額的主要成分。接下來，小編就給大家分析下這款光譜儀界的“新寵”有哪些優缺點。

優勢分析：

1.分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

2.X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。

3.非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

4.X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

5.分析精密度高。

6.制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

劣勢分析：

a)難于作絕對分析，故定量分析需要標樣。

b)對輕元素檢測的靈敏度要低一些。

c)容易受相互元素干擾和疊加峰影響。