清潔度顯微鏡的應(yīng)用也是非常廣泛的,清潔度對于開發(fā)、制造、批量生產(chǎn)以及成品質(zhì)量控制的所有流程,滿足對常見微觀尺寸污染物和異物顆粒的計數(shù)、分析和分類的高標(biāo)準(zhǔn)要求是非常重要的。
清潔度顯微鏡原理:
清潔度顯微鏡基于總反射原理,使用激光束作為光源,照射在樣品表面。在接近樣品表面的區(qū)域,光會發(fā)生局部反射和透射,而污染物會散射部分光線。散射的光線被收集并通過顯微鏡成像系統(tǒng)進(jìn)行放大和檢測。
清潔度顯微鏡的成像系統(tǒng)包括高靈敏度的探測器和光學(xué)透鏡。探測器能夠檢測到微小的光信號,并將信號轉(zhuǎn)換成電信號。透鏡系統(tǒng)則用于將樣品表面反射的光線聚焦在探測器上,從而提高檢測的靈敏度和分辨率。
清潔度顯微鏡能夠檢測的污染物種類包括粒子、液滴、有機(jī)物、無機(jī)物等。在樣品表面的污染物會散射光線,被收集并通過成像系統(tǒng)成像。根據(jù)圖像的亮度和大小可以確定污染物的大小和密度,從而評估樣品表面的清潔度。
總之,清潔度顯微鏡是一種能夠高精度、高靈敏度檢測樣品表面污染的儀器。它基于總反射原理,利用激光束作為光源,檢測樣品表面散射的光線。通過成像系統(tǒng)可以對污染物進(jìn)行檢測和評估,具有重要的應(yīng)用價值。