同軸度就是定位公差，理論正確位置即為基準軸線。同軸度是機械產品檢測中比較常見的一種形位公差項目，其表示零件的有關要素(軸與軸、孔與孔、軸與孔之間)要求同軸，即控制實際軸線與基準軸線的偏離程度。對于那個規則軸類零件，一般可采用V型支架、鋼球加杠桿百分表或偏擺儀等專用檢具及組合輔具來檢測同軸度；對于箱體孔類零件，一般可采用芯軸加杠桿百分表或利用圓度儀來檢測同軸度。

但是對于一些大型零部件(如機床主軸等)或不規則軸類零件以及箱體零件的不規則內孔，采用常規方法測量同軸度則很難實現或非常麻煩。因此，使用三坐標測量機來測量同軸度是一種不錯的選擇。與專用同軸度測量儀相比，CMM測量同軸度的最大特點是無須轉動工件，無須專用芯軸或專用支架，無須機械找正，只需用測頭探針對工件取點采樣，即可快速輸出測量結果。但用CMM測量同軸度時，由于對基準軸線理解的差異，或對被測要素軸線測量方法不同，或對同軸度評價方法不同，以及CMM采點誤差的影響等原因，有時會出現測量結果誤差較大、重復性較差的現象，即測量結果不能真實反映零件真實的同軸度誤差。

根據同軸度的定義，用三坐標測量機測量同軸度時，可從三個方面考察其測量誤差：1.基準軸線的采集與建立；2.被測元素軸線的采集與建立；3.基準軸線與被測元素軸線之間位置關系的評價。而減小三坐標測量機測量同軸度誤差的方法主要有如下幾個方法：

1.建立公共軸線作為基準軸線

當基準圓柱和被測圓柱較短且相聚較遠時，可采用建立公共軸線作為基準軸線的方法，即在基準圓柱和被測圓柱上測出中截面，以中截面的連結作為公共軸線，然后分別計算基準圓柱和被測圓柱相對于公共軸線(基準軸線)的同軸度，取其最大值作為工件的同軸度誤差。該方法的評價結果比較結晶實際使用情況。

2.增大基準截面之間的距離

在測量基準元素時，若增大第一截面與第二截面建的距離，則誤差干擾的比例將相應減小。因此，測量時應盡可能拉大兩截面間的距離。若基準足夠長，且基準截面與被檢截面相鄰，則引起的誤差可小到忽略不計。

3.以直線度近似替代同軸度

在被測工件截面較短的情況下，可用改測直線度以替代同軸度的變通方法。因為這種情況下軸的傾斜對工件裝配影響較小，而軸心偏移對工件裝配影響較大，測量軸心偏移實際上就是測量軸心連線的直線度。具有實現方法為：分別在兩個小圓柱上測量n個截面圓，然后選取這n個圓的圓心擬合一條三維直線，該直線的直線度可近似替代同軸度。工作截面越短，該方法效果越好，并且可很方便地制作一個綜合量規來驗證該方法的準確性。