雖然現在絕大多數光譜分析儀器都安裝了故障診斷的軟件，通過監控的數據傳輸到電腦上去，供操作者的分析光譜儀的運行情況，并處理相關問題，但是故障問題的檢查是故障診斷不能解決的，也有是他們不能夠檢測到的問題。這個時候便就需要專業的相關人士進行檢查分析故障問題，下面重慶優昂機電常見問題針對光譜室和樣品室的真空抽不到規定值的故障做出分析？
   X射線熒光光譜儀器在運作分析的工作中是需要在真空光路的前提下才能夠正常工作的，但是由于光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，漏氣的地方有很多，所以需要針對這個問題需要細分診斷。

      1.樣品室
   樣品室最常見的漏氣部位是樣品自轉裝置上的密封圈，樣品測量時通常以0.5轉/秒的速度自轉，儀器幾年運行下來，樣品自轉處的密封圈磨損，密封效果變差。
      2.真空泵
       將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在幾秒鐘內抽到規定值，可以排除真空泵出現故障的可能性。反之時間過長，可能是真空泵的效率降低，一般是在分析壓片樣品和油品的儀器上或者粉末或油被吸到真空泵油中，改變了油的粘度，這時需更換真空泵油。
      3光譜室
       光譜室最常見的漏氣部位是流氣計數器，流氣計數器安裝在光譜室內，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通，流氣計數器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。
       檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計數器與外界隔絕，然后抽真空。檢查真空故障，在拆卸和安裝時，要小心操作，不要讓灰或頭發掉到密封圈上，以避免產生新的漏氣點，安裝時可以在密封部位涂一點真空油脂。

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