隨著加工精度和自動化程度的不斷提高，對高精度測量的要求越來越迫切，對三坐標測量機軟件引起的誤差分析也越來越受到重視。三坐標測量圓度、平面度、圓柱度、同軸度等，取的點數(shù)不同，得出的結果也都會不同，那么三坐標測量機的誤差主要來源于哪幾點呢？

一：設備本身的精度

這一方面是不可避免的，任何測量工具都有不確定性，只不過是大小的區(qū)別而已。就三坐標來說，整體結構、驅動部分、傳動部分，還有測頭部分對一臺設備的不確定都影響都是很大的。舉個簡單的例子來說，門式結構比起平板移動結構來說精度就要差一些，所以結果不可能完全相同。

二：被測量產(chǎn)品的表面加工工藝

如果產(chǎn)品的表面粗糙度不好的話，對測量結果的影響也非常大，當表面粗糙度較大時，應采用較大直徑的測針。

三：三坐標測量取點的不同，取的點數(shù)不一樣，甚至點數(shù)一樣位置不一樣，所計算出來的結果可能也會差很多。當然，歸根結底這還是三坐標本身和被測產(chǎn)品本身的影響。