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1974年第一臺以電咸耦合等離子體（ICP）作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP質譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質譜具有極高的靈敏感度、極少的干憂，使分析結果更為精確，由于ICP質譜的檢出限極低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環境污染的影響。

SPECTRO最新推出SPECTRO MS型ICP質譜儀是現代科學技術的重大突破，是全新性能與優勢的展現，SPECTRO MS 是目前市場上唯一的從6Li到238U質量范圍全譜同時測量的ICP質譜儀，它使IPC質譜儀的能力從時序掃描測量跨躍到全譜同時測量的新階段，不僅提高了測量的精密度和準確度，同時也大大縮短了樣品的測量時間。

這種獨有的革命性技術的核心是雙聚焦Mattauch-Herzog扇形場質譜技術，與全新的同時俘獲全部離子檢測器的完美組合。SPECTRO MS所采用的檢器為“直接電荷檢測器（DCD）”，具有4800個通道同，時俘獲全部同位素。在同時檢測模式下所，需檢測的質不再像傳統的ICP質譜儀那樣順序測量花費時間，而是瞬間同獲取全部的質譜。每次測量的全質譜信息可永久保存，事后處理分析。

SPECTRO MS光譜儀每個組件都經過優化設計和最佳選擇具，有杰出的分析性能而且操作簡單。其便函于維護的整體設計，采用了可靠耐用的真空系統和冷卻系統，靈活的進樣系統，耐鹽分的接口，極為高效的離子透鏡和非常簡易的操作，SPECTRO MS具有許多獨有的仗勢。

MS是世界唯一的ICP - MS同時記錄完全測量從6Li到238U所有元素 - 結合優良的檢測限和測量時間短精度最高。卓越的分析性能，極磊地減少了測量時間可，方便地連接各種附件和自動裝置，實現無人值守操作。SPECTRO MS完全滿足大多數的分析應用要求可廣泛地應用于院校與工業研究機構、地質、礦產與金屬工業農業與食品、環境、石油、化學工業、核工業、醫學、生物與制藥、半導體等而下之領域。新應用技術，尤其是結合種分離技術的應用在不斷發展，而SPECTROMS是承擔這些任務的最佳選擇。